日本東芝技術研究所使用微細電火花技術 制造出了模數為0104 mm、減速比為44.2 的微型減速電機;1998 年，上海交通大學用EDM 技術研制出了模數為0.06mm、減速比為44.2 的微行星齒輪減速器.使用同步輻射光和X 射線掩模板的L IGA 技術能夠制造大深寬比的三維微結構，該結構側壁陡峭，表面平整。利用LIGA 技術的特點，我們又研制出模數為0.3 mm、最大外徑為2 mm 的3K- 2 型微行星齒輪減速器。微型減速電機可以降低微馬達的轉速，提高微馬達的輸出力矩，是微機電系統的重要組成部件。