日本東芝技術研究所使用微細電火花技術(EDM ) 制造出了模數為0104 mm、減速比為44.2 的微型減速機[ 1 ];1998 年，上海交通大學用EDM 技術研制出了模數為0.06mm、減速比為44.2 的微行星齒輪減速器[ 2 ]。使用同步輻射光和X 射線掩模板的L IGA 技術能夠制造大深寬比的三維微結構，該結構側壁陡峭，表面平整[ 3 ]。利用LIGA 技術的特點，我們又研制出模數為0.3 mm、最大外徑為2 mm 的3K- 2 型微行星齒輪減速器。微型減速機可以降低微馬達的轉速，提高微馬達的輸出力矩，是微機電系統的重要組成部件。